Pemulihan dan pemurnian helium adalah bidang dengan prospek aplikasi penting. Helium adalah gas langka yang penting dengan karakteristik seperti ketidakmampuan dan kedap udara yang baik. Ini banyak digunakan di berbagai industri, seperti medis, penelitian ilmiah, kedirgantaraan, dan sebagainya. Namun, pasokan helium terbatas dan sumber daya global secara bertahap menurun, membuat pemulihan dan pemurnian helium sangat penting.

Aplikasi kompresor helium1. Terutama digunakan dalam semikonduktor, berfungsi sebagai gas pelindung untuk penguapan, sputtering, dan sistem vakum implantasi ion dalam peralatan proses front-end. Reaksi kimia yang terjadi selama pemrosesan semikonduktor biasanya didasarkan pada gas atau minuman keras

Dalam sistem pemulihan dan pemurnian helium, kompresor adalah salah satu peralatan yang sangat penting, dan pemilihannya harus dirancang dan disesuaikan secara wajar berdasarkan sifat dan persyaratan helium untuk memastikan kualitas dan keamanan helium. Berikut beberapa saran untuk memilih kompresor