Kompresor helium adalah unit drive sistem cryopump atau unit pendingin lainnya, digunakan untuk memasok gas helium kemurnian tinggi ke cryopump atau unit pendingin lainnya.

Kompresor CO2 adalah kompresor yang digunakan untuk menekan dan memberikan gas karbon dioksida. Kompresor CO2 terutama digunakan dalam unit sintesis urea.

Apa yang harus kita perhatikan saat menggunakan kompresor oksigen? Kompresor oksigen sebenarnya adalah kompresor dengan aksesori khusus seperti saringan molekuler. Saat bekerja, mesin oksigen menekan dan mendinginkan udara ke keadaan cair, dan menggunakan suhu penguapan yang berbeda dari sapi cair.