Kompresor helium dapat menggerakkan cryopumps dari berbagai ukuran, yang dibagi menjadi 8 inci, 10 inci dan 16 inci sesuai dengan diameter flensa. Kompresor helium juga dapat digunakan dalam cryopump dari berbagai produsen. Untuk informasi lebih lanjut tentang kompresor helium, silakan baca kata -kata berikut.

Kompresor helium menggunakan teknologi piston bolak -balik untuk menangkap helium yang segar, dicampur atau pulih pada tekanan inlet atmosfer atau lebih tinggi. Bergantung pada persyaratan aliran dan tekanan, beberapa tahap dapat digunakan untuk secara efisien mengompres dan transportasi gas.

Prinsip kerja kompresor CO2 adalah bahwa gas karbon dioksida disimpan dalam silinder oleh sistem asupan. Kompresor karbon dioksida menekan gas karbon dioksida melalui gerakan piston bolak -balik. Setelah mencapai tekanan tertentu, sistem pembuangan akan menekan gas karbon dioksida dan mengirim.